壓電傾轉(zhuǎn)位移臺(tái)RA-3402A，通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無(wú)限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)

△ 半導(dǎo)體芯片檢測(cè)

△ 光刻機(jī)工件臺(tái)

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測(cè)與測(cè)量

△ 高精度激光對(duì)焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)RF-8382A，通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無(wú)限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)

△ 半導(dǎo)體芯片檢測(cè)

△ 光刻機(jī)工件臺(tái)

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測(cè)與測(cè)量

△ 高精度激光對(duì)焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)RF-33A，通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無(wú)限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)

△ 半導(dǎo)體芯片檢測(cè)

△ 光刻機(jī)工件臺(tái)

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測(cè)與測(cè)量

△ 高精度激光對(duì)焦 

納米壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)RF-5950A，通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有定位精準(zhǔn)，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°無(wú)限旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)。在增強(qiáng)位置反饋模塊后，可實(shí)現(xiàn)高精度及高分辨率的開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。

• 應(yīng)用案例

△ 電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)

△ 半導(dǎo)體芯片檢測(cè)

△ 光刻機(jī)工件臺(tái)

△ 微生物操縱手

△ 光纖焊接

△ 超精密組裝

△ 精密檢測(cè)與測(cè)量

△ 高精度激光對(duì)焦 

線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)-微動(dòng)臺(tái)NF-100L產(chǎn)品介紹

超低溫線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)XYLT34-06B，線(xiàn)性壓電位移臺(tái)專(zhuān)為低溫而生，集成單軸粗調(diào)細(xì)調(diào)整控制，超大行程，超高負(fù)載，亞納米級(jí)別開(kāi)環(huán)分變率。

可以適應(yīng)液氮的低溫實(shí)驗(yàn)環(huán)境，該產(chǎn)品滿(mǎn)足了大量客戶(hù)的多重應(yīng)用場(chǎng)景。特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) ，使得產(chǎn)品的低溫可靠性，易用性大大增強(qiáng)，即使在長(zhǎng)期的的低溫環(huán)境 下性能也能發(fā)揮出來(lái)。

得益于粉調(diào)整細(xì)調(diào)整的運(yùn)動(dòng)控制，使得超低溫下，高精度，高分辨率，大行程能同時(shí)兼得，讓實(shí)驗(yàn)應(yīng)用變得輕松。

不同于傳統(tǒng)的微米級(jí)別行程，本產(chǎn)品擁有超大運(yùn)動(dòng)行程（支持定制）。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加小范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案，從而使設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu) 更加緊湊，運(yùn)動(dòng)控制更加簡(jiǎn)便。

線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)-微動(dòng)臺(tái)NF-100產(chǎn)品介紹

超低溫線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)LT34-06B，線(xiàn)性壓電位移臺(tái)專(zhuān)為低溫而生，集成單軸粗調(diào)細(xì)調(diào)整控制，超大行程，超高負(fù)載，亞納米級(jí)別開(kāi)環(huán)分變率。

可以適應(yīng)液氮的低溫實(shí)驗(yàn)環(huán)境，該產(chǎn)品滿(mǎn)足了大量客戶(hù)的多重應(yīng)用場(chǎng)景。特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) ，使得產(chǎn)品的低溫可靠性，易用性大大增強(qiáng)，即使在長(zhǎng)期的的低溫環(huán)境 下性能也能發(fā)揮出來(lái)。

得益于粉調(diào)整細(xì)調(diào)整的運(yùn)動(dòng)控制，使得超低溫下，高精度，高分辨率，大行程能同時(shí)兼得，讓實(shí)驗(yàn)應(yīng)用變得輕松。

不同于傳統(tǒng)的微米級(jí)別行程，本產(chǎn)品擁有超大運(yùn)動(dòng)行程（支持定制）。大運(yùn)動(dòng)行程可以替代傳統(tǒng)的大范圍運(yùn)動(dòng)加小范圍補(bǔ)償?shù)倪\(yùn)動(dòng)方案，從而使設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu) 更加緊湊，運(yùn)動(dòng)控制更加簡(jiǎn)便。

長(zhǎng)行程壓電納米位移臺(tái)ML-92A，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡(jiǎn)單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀(guān)行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制。

長(zhǎng)行程壓電納米位移臺(tái)XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡(jiǎn)單，定位精準(zhǔn)，能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn)，XYMF-133-100A平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)在XY二維空間上的精確定位，可應(yīng)用于需要納米精度運(yùn)動(dòng)操作及定位的各個(gè)領(lǐng)域。

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)無(wú)需潤(rùn)滑，真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。能夠步進(jìn)和掃描雙模式工作，在宏觀(guān)行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。支持開(kāi)環(huán)/閉環(huán)控制。